تحدد هذه المواصفة القياسية الدولية أهم الكميات التي تميز مقياس طيف الخاصة بالطاقة المتشتتة للأشعة السينية X التي تتألف من كاشف شبه موصل ومضخم أولي ووحدة معالجة الإشارات للأجزاء الأساسية. وتسري هذه المواصفة القياسية الدولية فقط على الأجهزة المطيافية وبها كواشف شبه موصلة تعمل بطريقة تأين الحالة الصلبة. وتختص هذه المواصفة القياسية الدولية بالحد الأدنى من المتطلبات وكيفية فحص عوامل الأداء الفعال ذا الصلة لهذه الأجهزة المطيافية المتصلة بالمجهر الإلكتروني الماسح (SEM) أو المسبار الإلكتروني للمحلل المجهري (EPMA). وتتضمن المواصفة القياسية الدولية ISO 22309[2] و ASTM E1508[3]على الاجراءات المستخدمة للتحليل الفعلي وخارج مجال هذه المواصفة القياسية الدولية.